3D测量

简要介绍

目前3D轮廓测量所涵盖的对象不仅仅是一小部分形面,如规则的形面、球面等,但3D轮廓测量本身的意义不自傲与测量一些简单形面的还原,更多的是对于复杂对象的测量,包括穿孔,凸起,尖劈、台阶剧烈变化形面以及非规则球面等特征,使得测量难度提高。因此为解决复杂结构轮廓中阶跃结构的测量,提高测量的准确度、可靠性以及自动化程度。

应用领域:

LCD(液晶显示器),IC Package(芯片封装),Engineering Surfaces(工程表面),Biuld-up PCB(积层板),MEMS(微机电系统),IC基板等领域提供纳米级别精度的量测。

对于各种类型的3D测量目标,需要根据其不同的形面特征选择不同的方案,大体预备步骤分为:面形特征的分析,测试方案的设计,以及测量模型的搭建。通过研究各种测量模型的利弊,构建更加独特的测量模型,以其通过测量模型的构建将部分问题化解的,降低对技术条件的依赖,从而达到测量的精确要求。

测试效果图: